新松公司获科技进步奖
2008-12-27 11:51:00 来源：现代物流报 编辑：56885 关注度：摘要：... ...
本报讯 近日，沈阳新松机器人自动化股份有限公司 （以下简称 “新松公司”）连获沈阳市科技进步一等奖、沈阳市五一劳动奖状和沈阳市十大科研成果转化奖等表彰。沈阳市科技振兴奖和沈阳市科技进步奖，是沈阳市政府设立的两个最高科技奖项。新松公司自主研发的洁净机器人荣获了沈阳市科技进步一等奖。由沈阳市总工会、市经委、市科技局、市人事局、市精神文明办公室等9家单位举办的评比活动中，新松公司荣获沈阳市五一劳动奖状，以及沈阳市十大科研成果转化奖。
为打破国外的技术垄断，提高我国先进制造业的技术水平，新松公司于2002年立项开发了洁净机器人。经过工程技术人员几年的努力，攻克了高速、高精度和高可靠性的控制技术和洁净环境下的运动件润滑技术及通过机械手对晶圆盒内晶圆状态检测技术等多项技术难题。在这些技术的积累下，设计开发的洁净镀膜机械手应用于我国第一条激光打印机感光光导鼓镀膜生产线，取得显著的经济效益和社会效益。
大气机器人 （由于是在超净间内使用因此又称洁净机器人）是在大气环境下用于半导体加工行业在超净间里负责不同制成间物料搬运的自动化设备，具有运动速度快、定位 （重复定位）精度高、结构紧凑、安全可靠、安装和维修方便等特点，可广泛应用于刻属机、离子注入机和PECVD等IC装备中硅片的传输，是IC装备中普遍采用的高精度、高可靠性的自动化装备。 截止到目前，新松公司开发的用于半导体行业的洁净机器人取得突破性进展，预料其会在市场中取得优良的表现。（辛永名）
